潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定的。在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮人的喜好。不同行業(yè)的潔凈室都有不同的溫濕度控制范圍，對監(jiān)測儀器也有不同的要求。本章將從半導(dǎo)體行業(yè)來探討潔凈室的溫濕度方案。
面板顯示、微機電、晶圓、芯片等高精尖要求的半導(dǎo)體行業(yè)加工精度越精細，對溫濕度波動的范圍要求越小。如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1℃，就會引起0.24um線性膨脹。在這樣的情境下，溫度需要準(zhǔn)確控制，避免影響產(chǎn)品的質(zhì)量。
半導(dǎo)體潔凈室溫濕度影響簡述:
潔凈室內(nèi)溫度的影響主要是從產(chǎn)品精度，合格率以及污染的角度（溫度升高后，會引起人出汗，汗水會對產(chǎn)品產(chǎn)生污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間）來考慮的。越精細、集成度高的電子加工，對溫度的敏感性越大。
濕度太高會使物體表面的灰塵難以清除，但是相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于物體表面，靜電會使半導(dǎo)體器件發(fā)生擊穿。
按照半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的特點，潔凈室一般溫度控制在20-25℃，濕度控制在50-60%RH，這個范圍不但滿足了生產(chǎn)工藝的要求，而且人在這樣的環(huán)境下也感到舒服。
羅卓尼克溫濕度監(jiān)測:
羅卓尼克溫濕度變送器憑借其準(zhǔn)確、穩(wěn)定、易用等的特性贏得了半導(dǎo)體客戶的青睞。無錫徽科特服務(wù)的半導(dǎo)體客戶不斷增多，如維信諾、惠科光電，廈門天馬等，他們對溫濕度的控制都很嚴(yán)格，羅卓尼克的HF1，HF5成為了他們選擇的明星款產(chǎn)品。這兩款變送器很好的滿足了客戶對儀器高精度、長期穩(wěn)定、帶顯示和分析儀在線校準(zhǔn)功能，可以為生產(chǎn)運營提供關(guān)鍵控制和監(jiān)測數(shù)據(jù)的需求。
HF1溫濕度變送器:
HF1系列是測量相對濕度和溫度的經(jīng)濟款變送器，性價比高。可選SW21軟件進行變更量程并對變送器進行校準(zhǔn)和標(biāo)定。
•23℃±5℃精度：±2%RH/±0.3℃；±1.5%RH/±0.2℃（升級版）
•測量范圍：0至100%RH/-20℃至60℃
•體積小巧，容易安裝
•USB接口
•工廠校準(zhǔn)35%RH，80%RH
•提供OEM定制型號和精度
HF5溫濕度變送器:
HF5系列變送器可配合所有帶AirChip芯片的HC2探頭使用。由于探頭的高精度，HF5系列變送器能夠完成高精度的測量。其探頭更換簡單輕松，自帶實體按鈕可現(xiàn)場輕松校準(zhǔn)，屏幕背光可調(diào)節(jié)。
•精度：10℃至30℃時，±0.8%RH，±0.1℃（常用精度）
•測量范圍：-50至100℃/0至100%RH（常用范圍）
•數(shù)字輸出，可以與模擬量輸出結(jié)合使用
•可以提供多種濕度學(xué)參數(shù)輸出
•HF5軟件任意點校準(zhǔn)，保持更穩(wěn)定、準(zhǔn)確的精度
•可以作為系統(tǒng)驗證模擬器使用
•可選防爆款
•提供OEM定制型號，可選其他探頭
